New method of mirror surface figure treatment in optical engineering analysis

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New method of mirror surface figure treatment in optical engineering analysis

更新时间：2025-09-01

- New method of mirror surface figure treatment in optical engineering analysis
- Issue 6, Pages: 752-753(2003)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  3. 3:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
  4. 4,吉林,长春,130022
- 作者简介：
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- DOI：
  CLC：
- Published：2003
- 稿件说明：
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New method of mirror surface figure treatment in optical engineering analysis[J]. 2003, (6): 752-753.
DOI：

New method of mirror surface figure treatment in optical engineering analysis[J]. 2003, (6): 752-753. DOI：

摘要

光学系统在载荷的作用下会发生变形。基于干涉检验理论

提出了一种先调整后再拟合的处理方法。首先利用下山法计算光学镜面在法线方向的变形;然后利用Zernike多项式拟合变形曲面得到Zernike系数;最后去除刚体位移

作等高线图。新的数据处理方法可以更好的与干涉检验保持一致。对某相机的主镜进行仿真试验

结果表明

下山法计算效率较高

先调整后再拟合的处理结果与干涉检验结果的一致性较好。

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