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Published:2003
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Study on straightness measurement method based on laser collimation[J]. 2003, (6): 699-701.
DOI:
Study on straightness measurement method based on laser collimation[J]. 2003, (6): 699-701. DOI:
介绍了用半导体激光器、单模光纤准直激光束作为测量基准轴线
四象限光电器件作为位置传感器
并由单片机进行数据采集、处理与测量结果显示的直线度准直仪。通过稳定性实验、重复特性实验和双频干涉仪比对实验
验证了本直线度测量系统的可行性。实验结果表明
测量系统实现的测量精度为(1.0+2×L)μm(L为准直距离
单位为m)
测量范围为10m。
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