Study on utilizing only one linear CCD array to measure two orthogonal displacements of two-dimensions stage

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Study on utilizing only one linear CCD array to measure two orthogonal displacements of two-dimensions stage

更新时间：2025-09-01

- Study on utilizing only one linear CCD array to measure two orthogonal displacements of two-dimensions stage
- Issue 6, Pages: 710-712(2003)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084
  4. 4,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2003
- 稿件说明：
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Study on utilizing only one linear CCD array to measure two orthogonal displacements of two-dimensions stage[J]. 2003, (6): 710-712.
DOI：

Study on utilizing only one linear CCD array to measure two orthogonal displacements of two-dimensions stage[J]. 2003, (6): 710-712. DOI：

摘要

研究了一种采用单线阵CCD测量二维工作台位移的方法。提供给CCD一个发光面形状为直角三角形的被拍摄目标

该目标固结在二维工作台上。使被拍摄目标的像在CCD光敏线上的宽度和位置随二维工作台的位置而改变

通过用一个单线阵CCD测量出目标像的宽度和位置

就可以同时测量出二维工作台在正交的X和Y方向的位移。相对传统的二维位移测量系统来说

所提出的系统具有结构简单

测量速度快和成本低的优点。

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