Super-resolution near field structure technology and its applicat ions

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Super-resolution near field structure technology and its applicat ions

更新时间：2025-09-01

- Super-resolution near field structure technology and its applicat ions
- Issue 5, Pages: 518-522(2003)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院上海光学精密机械研究所
  2. 2:中国科学院上海光学精密机械研究所
  3. 3:中国科学院上海光学精密机械研究所
  4. 4:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 作者简介：
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- Published：2003
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Super-resolution near field structure technology and its applicat ions[J]. 2003, (5): 518-522.
DOI：

Super-resolution near field structure technology and its applicat ions[J]. 2003, (5): 518-522. DOI：

摘要

超分辨近场结构(Super RENS)技术是在传统的超分辨光盘技术和近场光学的基础上发展起来的新技术。介绍了Super RENS技术的基本原理:利用掩膜层的非线性效应或表面等离子体增强效应

在近场区域可以记录、读出超过衍射极限的信号。综述了该技术在纳米光信息存储和光刻方面应用研究的最新进展

提出了存在的问题

展望了它的发展前景。

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