Fabrication and near-field measurement of very small aperture lasers

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更新时间：2025-09-01

- Fabrication and near-field measurement of very small aperture lasers
- Issue 6, Pages: 682-684(2003)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心
  2. 2:中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心
  3. 3:中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心
  4. 4:中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2003
- 稿件说明：
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Fabrication and near-field measurement of very small aperture lasers[J]. 2003, (6): 682-684.
DOI：

Fabrication and near-field measurement of very small aperture lasers[J]. 2003, (6): 682-684. DOI：

介绍了一种用于高密度近场存储领域的新型微小孔径激光器(VSAL)。为了解决由腔面金属膜造成的激光器PN结短路的问题

在激光器中引入了窗口隔离区

不仅降低了器件制备的难度

而且也提高了器件的性能和成品率。采用聚焦离子束刻蚀技术成功地制备了输出功率为0 3mW的激光器

利用矩阵方法通过远场测量值估算了激光器的近场分布。

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