Acquisition of the import information in the precision stabilizing control system

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

Acquisition of the import information in the precision stabilizing control system

更新时间：2025-09-01

- Acquisition of the import information in the precision stabilizing control system
- Issue 6, Pages: 744-746(2003)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  3. 3:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  4. 4:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2003
- 稿件说明：
移动端阅览
Acquisition of the import information in the precision stabilizing control system[J]. 2003, (6): 744-746.
DOI：

Acquisition of the import information in the precision stabilizing control system[J]. 2003, (6): 744-746. DOI：

摘要

精密稳定(二级稳定d)控制系统具有通频带宽、响应速度快、精度高的特点

弥补了跟踪架伺服(一级稳定b)控制系统的不足。压电陶瓷倾斜平台(PZT)作为精密稳定控制系统的驱动装置

对于这种特殊结构来说

传统的光电传感器的输入不适于精密稳定控制系统的驱动装置。着重讨论了其输入量的获取方法

并在实验的基础上分析了这种方法的可行性。

Abstract

关键词

Keywords

references

Views

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

High-precision retractable PZT driving power technology for phase-shifting interferometry

Study on the driving technology of piezoelectric ceramic based on virtual instrument

Empircal study of the control system for deposition platform

Design and study on a nanometer order accuracy optical-path-splitting two-frequency interferometer measuration system

Super-precision positioning stage with nanometer resolution

Related Author

邱丽荣

崔健

杨帅

周实

何奇

郑超

邹志勇

高爱华

Related Institution

1:北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室

2:之江实验室

1:西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室

1:北京理工大学光电学院

2:中国计量科学研究院量子部

⁰