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1. 1:清华大学精密仪器与机械学系光信息存储国家工程研究中心
2. 2:清华大学精密仪器与机械学系光信息存储国家工程研究中心,北京,100084
3. 3,北京,100084
Published:2003
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Study and application of optical density curve model for recordabl e disc[J]. 2003, (5): 549-551.
DOI:
Study and application of optical density curve model for recordabl e disc[J]. 2003, (5): 549-551. DOI:
利用光密度曲线模型优化可写光盘的染料旋涂工艺。模型具有4个特征点和3个特征线段。特征点的位置反映了平移效应和填充效应的综合效果。特征线段的斜率反映了薄膜表面的平面度。借助模型分析旋涂工艺中的许多重要参数
从而控制盘片质量
并最终实现闭环生产控制。
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