Optical surfacing of spherical reaction-burned  silicon carbide(RB-SiC) mirror

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

Optical surfacing of spherical reaction-burned silicon carbide(RB-SiC) mirror

更新时间：2025-09-01

- Optical surfacing of spherical reaction-burned silicon carbide(RB-SiC) mirror
- Issue 1, Pages: 6-8(2004)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
  3. 3:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
  4. 4:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2004
- 稿件说明：
移动端阅览
Optical surfacing of spherical reaction-burned silicon carbide(RB-SiC) mirror[J]. 2004, (1): 6-8.
DOI：

Optical surfacing of spherical reaction-burned silicon carbide(RB-SiC) mirror[J]. 2004, (1): 6-8. DOI：

摘要

介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛光和精抛光过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工和检测各个步骤中应注意的问题。展示了加工后250mm口径反应烧结碳化硅球面反射镜的实物照片

并给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.037波长(λ=632.8nm)

表面粗糙度RMS值达到1.92nm(测量区域大小为603.6ⅹ448.4μm)。

Abstract

关键词

Keywords

references

Views

535

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

Optical surfacing of flat reaction-burned silicon carbide mirror

Fabricating and testing of Ф1300mm aspheric mirror

Structure design and analysis of 700mm apertureoptical telescope

Research on tool path planning based on nc machining of high-order off-axis aspheric mirrors

Study on manufacturing a single-crystal silicon monochromator using wire saw machine

Related Author

王聪

陈思羽

吕天斌

郭文

张岩

陈宝刚

李洪文

曹玉岩

Related Institution

1:北京空间机电研究所国防科技工业光学超精密加工技术创新中心(先进制造类)

1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

1:苏州大学光电科学与工程学院江苏省先进光学制造技术重点实验室教育部现代光学技术重点实验室

1:中国科学院上海应用物理研究所

2:中国科学院大学

⁰