Common-path and phase-shifting single frequency  laser interferometer for length measurement

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

Common-path and phase-shifting single frequency laser interferometer for length measurement

更新时间：2025-09-01

- Common-path and phase-shifting single frequency laser interferometer for length measurement
- Issue 2, Pages: 195-198(2004)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
  3. 3,吉林,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2004
- 稿件说明：
移动端阅览
Common-path and phase-shifting single frequency laser interferometer for length measurement[J]. 2004, (2): 195-198.
DOI：

Common-path and phase-shifting single frequency laser interferometer for length measurement[J]. 2004, (2): 195-198. DOI：

单频激光干涉系统采用偏振光移相方法

用来解决常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题。共光路设计提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术提高了干涉系统的分辨力。在构造了一套实验布局的基础上

分析了影响系统测长精度的主要因素

并对干涉系统的测量误差分量做了定量的分析

完成了系统的精度测试。

Views

570

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

Method of nanometer measurement using multi wavelengths interferometry

Related Author

程晓辉

李达成

赵洋

Related Institution

1:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

2:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

3:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

⁰