Review and prospect on reflection mode micro-opto-electro-mechanical system

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Review and prospect on reflection mode micro-opto-electro-mechanical system

更新时间：2025-09-01

- Review and prospect on reflection mode micro-opto-electro-mechanical system
- Issue 2, Pages: 189-192(2004)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器及机械学系
  2. 2:清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084
  3. 3,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2004
- 稿件说明：
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Review and prospect on reflection mode micro-opto-electro-mechanical system[J]. 2004, (2): 189-192.
DOI：

Review and prospect on reflection mode micro-opto-electro-mechanical system[J]. 2004, (2): 189-192. DOI：

摘要

反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分

近年来得到了较快的发展。介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新进展。根据反射式微光机电系统的分类

列举了一些具有代表性的反射式MOEMS器件。简要介绍了反射式MOEMS的加工工艺;阐述了反射式MOEMS的应用领域;展望了发展前景。

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