Dual axis small angle measurement instrument  based on track signal processing

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Dual axis small angle measurement instrument based on track signal processing

更新时间：2025-09-01

- Dual axis small angle measurement instrument based on track signal processing
- Issue 2, Pages: 176-178(2004)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系
  3. 3:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
  4. 4,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2004
- 稿件说明：
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Dual axis small angle measurement instrument based on track signal processing[J]. 2004, (2): 176-178.
DOI：

Dual axis small angle measurement instrument based on track signal processing[J]. 2004, (2): 176-178. DOI：

介绍了一种新型的二维小角度检测装置。由于该装置采用了光电自准直结构

以高灵敏度的四象限硅光电探测器作为检测元件

采用交流调制

锁相放大的方法对信号进行了处理

所以有效地消除了直流漂移的影响

提高了稳定性和测试精度。分析了光斑的形状和大小对测试结果的影响

研制了专门的标定装置。首先由高精度的光电自准直仪标定测量角度与输出信号的关系

并将相关数据存入单片机

然后由软件拟合出关系曲线。测量时

既可自动显示角度的大小

同时也可以与计算机相连。该测试系统结构小巧

具有较高的测量精度。

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