Quantitative test method of Ritchey-Common test  in large high precision flat measurements

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Quantitative test method of Ritchey-Common test in large high precision flat measurements

更新时间：2025-09-01

- Quantitative test method of Ritchey-Common test in large high precision flat measurements
- Issue 4, Pages: 486-488(2004)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院光电技术研究所
  2. 2:中国科学院光电技术研究所
  3. 3:中国科学院光电技术研究所
  4. 4:中国科学院光电技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2004
- 稿件说明：
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Quantitative test method of Ritchey-Common test in large high precision flat measurements[J]. 2004, (4): 486-488.
DOI：

Quantitative test method of Ritchey-Common test in large high precision flat measurements[J]. 2004, (4): 486-488. DOI：

摘要

瑞奇康芒法是检测大口径平面时的行之有效的方法。由于被检平面处于发散光路中

这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂

推导起来十分困难

故长期以来该方法只能作为一种定性或半定量的检测手段。给出了数学算法

推导出了被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系

实现了瑞奇康芒的定量检测。

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