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1. 1:山东大学物理与微电子学院
2. 2:山东大学物理与微电子学院,山东,济南,250061
3. 3:山东济南 250061天津大学力学系天津,300072
Published:2004
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A kind of calibration algorithm of phase-shifting based on Hilbert transform[J]. 2004, (4): 508-509.
DOI:
A kind of calibration algorithm of phase-shifting based on Hilbert transform[J]. 2004, (4): 508-509. DOI:
相移法因其精度高、运算简单
所以被广泛应用于形貌检测中的相位解调。该方法的弱点是:不仅要采集多幅相移图像
而且不能克服相移器的移相误差。将小波分析与希尔伯特变换结合起来
采用小波分析去除直流背景成分
利用希尔伯特变换方法实现90°相移;利用相移法解调形貌相位
由于是采用软件来实现相移的
因此只需采集一幅变形栅线图。对该方法与传统相移技术进行了模拟比较实验
结果表明
该方法具有较高的精度。
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