MEMS dynamic testing system and data processing

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MEMS dynamic testing system and data processing

更新时间：2025-09-01

- MEMS dynamic testing system and data processing
- Issue 4, Pages: 398-402(2004)
- 作者机构：
  
  1. 1:华中科技大学微系统研究中心
  2. 2:华中科技大学微系统研究中心
  3. 3:华中科技大学微系统研究中心
  4. 4:华中科技大学微系统研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2004
- 稿件说明：
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MEMS dynamic testing system and data processing[J]. 2004, (4): 398-402.
DOI：

MEMS dynamic testing system and data processing[J]. 2004, (4): 398-402. DOI：

摘要

介绍了基于频闪显微干涉技术的MEMS动态测试系统的测量原理

设计了数据分析处理算法。采用基于立方插值的亚像素模板匹配技术实现了1/50像素的面内位移测量精度。利用分割线去包裹算法实现了从干涉图到三维形貌图的重构。

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