Status and principle of two-photon microfabrication using femtosecond laser

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Status and principle of two-photon microfabrication using femtosecond laser

更新时间：2025-09-01

- Status and principle of two-photon microfabrication using femtosecond laser
- Issue 5, Pages: 637-640(2004)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院化学所分子反应动力学国家重点实验室
  2. 2:中国科技大学精密机械与仪器系
  3. 3:中国科技大学精密机械与仪器系
  4. 4:中国科技大学精密机械与仪器系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2004
- 稿件说明：
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Status and principle of two-photon microfabrication using femtosecond laser[J]. 2004, (5): 637-640.
DOI：

Status and principle of two-photon microfabrication using femtosecond laser[J]. 2004, (5): 637-640. DOI：

摘要

飞秒激光双光子微细加工技术以其特有的高精度三维微加工优势

成为微型机械加工领域新的发展方向之一。介绍了飞秒激光双光子微细加工技术的原理和应用的现状。结合目前已有的微细加工技术

对双光子微细加工技术的特点加以评述。简要报道了利用飞秒激光双光子微细加工技术的一些研究进展。探讨了飞秒激光双光子微细加工技术今后的发展方向及其存在的基本问题。

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