Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis  aspherical surface with computer aided alignment

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Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis aspherical surface with computer aided alignment

更新时间：2025-09-01

- Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis aspherical surface with computer aided alignment
- Issue 5, Pages: 532-534(2004)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022
  3. 3,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2004
- 稿件说明：
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Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis aspherical surface with computer aided alignment[J]. 2004, (5): 532-534.
DOI：

Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis aspherical surface with computer aided alignment[J]. 2004, (5): 532-534. DOI：

摘要

通过非球面的零位补偿法

完成了对矩形大口径离轴非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分析了在检测中会出现的现象

并结合计算机辅助装调技术

确定在检测过程中相对敏感的自由度

然后控制这些量

使补偿器和非球面的相对关系与理论设计相吻合

在Zygo相位干涉仪上测得最终结果。在λ=632.8nm时

中心圆口径与两个边缘圆口径面形误差RMS分别为0.022λ

0.037λ

0.032λ。检测结果

达到预期目的。

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