Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements

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Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements

更新时间：2025-09-01

- Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements
- Issue 2, Pages: 302-305(2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:浙江大学机械工程系
  2. 2:浙江理工大学测控系
  3. 3:浙江大学机械工程系,浙江,杭州,310027
  4. 4,浙江,杭州,310033
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2005
- 稿件说明：
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Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements[J]. 2005, (2): 302-305.
DOI：

Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements[J]. 2005, (2): 302-305. DOI：

摘要

介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量方法

在数十毫米的测量范围内

理论上可以达到1/440000的细分系数。

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