Signal acquisition and non-linear error compensation technique of random rotating angle measurement by laser interference

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Signal acquisition and non-linear error compensation technique of random rotating angle measurement by laser interference

更新时间：2025-09-01

- Signal acquisition and non-linear error compensation technique of random rotating angle measurement by laser interference
- Issue 1, Pages: 69-72(2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:上海交通大学信息检测技术及仪器系
  2. 2:上海交通大学信息检测技术及仪器系
  3. 3:上海交通大学信息检测技术及仪器系
  4. 4:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,上海,200030
- 作者简介：
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- Published：2005
- 稿件说明：
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Signal acquisition and non-linear error compensation technique of random rotating angle measurement by laser interference[J]. 2005, (1): 69-72.
DOI：

Signal acquisition and non-linear error compensation technique of random rotating angle measurement by laser interference[J]. 2005, (1): 69-72. DOI：

摘要

采用信号处理的方法对激光干涉测角系统的特性进行线性化处理

需要产生两路正交信号。采用空间互相垂直的两套干涉系统获得信号难免会使系统复杂、调整困难

因此提出了一种插值处理方法

可以利用测量得到的一路信号获得线性输出信号。输出信号的非线性误差较处理前大大减小了

但是无法满足高精度测量的要求。还提出了针对误差产生的原因进行的误差补偿技术。实验结果表明

提出的方法可以实现任意转角的高精度测量

光程差的测量误差小于±0 2μm

对应的转角测量误差为0 63″。

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