Study of profilometry with dual-frequency grating

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Study of profilometry with dual-frequency grating

更新时间：2025-09-01

- Study of profilometry with dual-frequency grating
- Issue 1, Pages: 139-141(2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:天津大学力学系
  2. 2:天津大学力学系天津　300072 山东大学物理与微电子学院
  3. 3,济南,250061
  4. 4,天津,300072
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2005
- 稿件说明：
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Study of profilometry with dual-frequency grating[J]. 2005, (1): 139-141.
DOI：

Study of profilometry with dual-frequency grating[J]. 2005, (1): 139-141. DOI：

摘要

在投影栅相位法轮廓检测中

当物体含突变部分时

包裹相位很难准确恢复

对此可用双频变精度技术来解决。如果用两种不同频率光栅分两次进行测量

无疑增加了测量负担

也无法满足实时检测的要求。提出用软件生成两种不同频率成分的复合正弦光栅

用液晶投影仪投影

针对不同物体具体突变部分的情况

可灵活生成各种不同灵敏度的复合光栅。只采一次图像就可以达到以往双频技术中多次采集的效果

该法具有快速和去包裹精度高的特点。最后

进行了实验测试

结果非常满意。

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