Magnetorheological finishing for aspheric surface with nanometer accuracy

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Magnetorheological finishing for aspheric surface with nanometer accuracy

更新时间：2025-09-01

- Magnetorheological finishing for aspheric surface with nanometer accuracy
- Issue 1, Pages: 52-54(2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精仪系
  2. 2:长春理工大学材料系
  3. 3:清华大学精仪系,北京,100084
  4. 4,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2005
- 稿件说明：
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Magnetorheological finishing for aspheric surface with nanometer accuracy[J]. 2005, (1): 52-54.
DOI：

Magnetorheological finishing for aspheric surface with nanometer accuracy[J]. 2005, (1): 52-54. DOI：

摘要

利用永磁流变抛光技术制造高精度光学元件是一项极具前景的超精密制造技术。对一台五轴联动磁流变数控抛光系统的结构特点、功能特色及关键部件的设计进行了阐述。在此基础上

结合装置开展基础试验

对磁流变抛光过程中的主要控制参量如抛光轮下压量、抛光轮速度等对材料去除特性的影响进行了研究。开展了磁流变抛光对提高工件(K9玻璃)表面粗糙度效果的抛光试验

结果证明该套系统具有良好的磁流变抛光特性

抛光23min后工件表面粗糙度降低到0 6739nm。

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