Study on control technology of active stressed lap polishing aspherical mirror

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Study on control technology of active stressed lap polishing aspherical mirror

更新时间：2025-09-01

- Study on control technology of active stressed lap polishing aspherical mirror
- Issue 3, Pages: 373-375(2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
  2. 2:中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
  3. 3:中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
  4. 4:中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,南京,210042
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2005
- 稿件说明：
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Study on control technology of active stressed lap polishing aspherical mirror[J]. 2005, (3): 373-375.
DOI：

Study on control technology of active stressed lap polishing aspherical mirror[J]. 2005, (3): 373-375. DOI：

摘要

介绍了抛光盘机械结构和基本运动方式

探讨了主动抛光盘的控制系统和面形检测

重点对变形技术进行了数学分析

并给出了实验结果。根据实验结果分析了面形误差产生的原因

讨论了主动抛光盘的动态响应和校正

给出了直径910mm

焦比为F/2的实验镜面磨制结果。

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关键词

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