Single-side alignment of 100GHz 16 channel Si-SiO<sub>2</sub> based on AWG design and fabrication

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Single-side alignment of 100GHz 16 channel Si-SiO₂ based on AWG design and fabrication

更新时间：2025-09-01

- Single-side alignment of 100GHz 16 channel Si-SiO₂ based on AWG design and fabrication
- Issue 4, Pages: 583-585(2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院半导体研究所
  2. 2:中国科学院半导体研究所
  3. 3:中国科学院半导体研究所
  4. 4:中国科学院半导体研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
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- Published：2005
- 稿件说明：
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Single-side alignment of 100GHz 16 channel Si-SiO₂ based on AWG design and fabrication[J]. 2005, (4): 583-585.
DOI：

Single-side alignment of 100GHz 16 channel Si-SiO₂ based on AWG design and fabrication[J]. 2005, (4): 583-585. DOI：

摘要

介绍了一种新型单侧耦合16通道、100GHz通道间隔的硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG)。通过增加一个Y分支波导结构

将AWG的输入、输出波导等间距整齐排列

仅用一个光纤阵列(FA)就可以对AWG器件进行耦合封装。这种AWG的结构设计可有效地减小器件尺寸和增加波导结构的弯曲半径

可减少器件的抛光和耦合时间

可降低器件的成本。

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