Design and experimental study on the precision service platform

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更新时间：2025-09-01

- Design and experimental study on the precision service platform
- Issue 4, Pages: 636-638(2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系
  3. 3:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
  4. 4,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2005
- 稿件说明：
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Design and experimental study on the precision service platform[J]. 2005, (4): 636-638.
DOI：

Design and experimental study on the precision service platform[J]. 2005, (4): 636-638. DOI：

微器件装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统(MEMS)的关键技术之一

精密工作台系统则是微装配系统的一个重要组成部分。精密工作台系统包括粗动工作台和微动工作台:粗动工作台包括精密机械及其传动系统、光栅定位系统、直流力矩电机驱动系统及计算机控制系统;微动工作台包括微动台、压电陶瓷驱动电源和电感测微移。实验结果表明

粗动台系统的最高速度为5mm/s

最低速度为3.4μm/s

系统的重复定位精度为±1μm;微动台系统的定位精度可达到±1μm。

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