Theoretical analysis and numerical simulation of the optical fiber MEMS pressure sensor

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

Theoretical analysis and numerical simulation of the optical fiber MEMS pressure sensor

更新时间：2025-09-01

- Theoretical analysis and numerical simulation of the optical fiber MEMS pressure sensor
- Issue 4, Pages: 491-493(2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:南京师范大学物理科学与技术学院
  2. 2:南京师范大学物理科学与技术学院
  3. 3:南京师范大学物理科学与技术学院
  4. 4:南京师范大学物理科学与技术学院,江苏,南京,210097
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2005
- 稿件说明：
移动端阅览
Theoretical analysis and numerical simulation of the optical fiber MEMS pressure sensor[J]. 2005, (4): 491-493.
DOI：

Theoretical analysis and numerical simulation of the optical fiber MEMS pressure sensor[J]. 2005, (4): 491-493. DOI：

摘要

设计了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤压力传感器

证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里_珀罗腔的理论模型解释。推导出了在光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜的压力与干涉光强的关系表达式

并对光纤MEMS压力传感器的模型进行了数值模拟

初步确定了在传感器的制作过程中各个物理量的取值。其中腔体半径为300μm、腔体深度为1.42μm、硅横膈膜厚度为23μm

为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础。

Abstract

关键词

Keywords

references

Views

299

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

Cause and remove method of spurious fringes in measuring transmit wavefront

Numerical simulation of temperature field pulse laser marking hard brittle material based on ANSYS

The application of fiber Bragg grating tempetature testing system in the barn

Research status and developing trends of diffraction grating interferometer measurement system

The measurement of small amplitude liquid surface wave by means of laser interference

Related Author

郑芳兰

刘勇

刘旭

马可

冯晓璇

马玉荣

任寰

杨一

Related Institution

1:中国工程物理研究院激光聚变研究中心

3:南京化工职业技术学院机械技术系

2:江苏省流体密封与测控工程技术研究开发中心

1:南京化工职业技术学院流体密封与测控技术研究所

2:河北省特种光纤与光纤传感重点实验室

⁰