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1. 1:西安电子科技大学技术物理学院
2. 2:西安工业学院光电工程学院
3. 3:西安工业学院光电工程学院
4. 4:西安电子科技大学技术物理学院,西安,710071
Published:2005
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Absorption coefficient of thin-film material affection optical coating wideband monitoring technology[J]. 2005, (5): 672-674.
DOI:
Absorption coefficient of thin-film material affection optical coating wideband monitoring technology[J]. 2005, (5): 672-674. DOI:
光学镀膜宽带监控的判停依靠测量曲线和理论曲线的吻合程度来进行
这要求对理论曲线进行符合薄膜镀制实际的修正。在介绍光学镀膜宽带监控技术的原理及现状的基础上
针对由于材料的吸收而产生的测量曲线和理论曲线的严重背离
提出了一种逐层修正的方法。试验结果表明
其效果良好
完全可以满足实际镀膜的需要。
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