Research on background noise control and operation technology of thin-film thickness wideband monitoring system

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Research on background noise control and operation technology of thin-film thickness wideband monitoring system

更新时间：2025-09-01

- Research on background noise control and operation technology of thin-film thickness wideband monitoring system
- Issue 6, (2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:西安电子科技大学技术物理学院
  2. 2:西安工业学院光电工程学院
  3. 3:西安工业学院光电工程学院
  4. 4:西安电子科技大学技术物理学院,陕西,西安,710071
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2005
- 稿件说明：
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Research on background noise control and operation technology of thin-film thickness wideband monitoring system[J]. 2005, (6).
DOI：

Research on background noise control and operation technology of thin-film thickness wideband monitoring system[J]. 2005, (6). DOI：

摘要

根据CCD器件只适于检测直流或缓变交流信号的特点

基于CCD膜厚监控系统和CCD探测器的强背景噪声环境

利用步进电机的可控、可知性

实现了步进电机与CCD数据采集卡的精确匹配

完成了信号在亮周期和暗周期中的精确采样。结果表明

背景噪声得到了有效的抑制

保证了实测光谱曲线的准确性。

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