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1. 1:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
2. 2:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
3. 3:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084
4. 4,北京,100084
Published:2006
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Development of step height measurement[J]. 2006, (1): 111-114.
DOI:
Development of step height measurement[J]. 2006, (1): 111-114. DOI:
台阶高度测量是目前新提出的国际计量比对项目之一
当前的趋势是向纳米量级精度发展并尽量扩大测量范围。在分析现状和背景的基础上
大致归类了测量台阶高度的几种光学方法
着重介绍了其中绝对干涉方案的最新进展
从测量原理、测量精度以及量程等几方面比较了它们的优缺点。在此基础上提出以可调谐半导体激光器作为光源
采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量
详细分析了方案的原理误差
得到最后的结论。
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