Research on precision displacement measurement and control using moiré signals

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Research on precision displacement measurement and control using moiré signals

更新时间：2025-09-01

- Research on precision displacement measurement and control using moiré signals
- Issue 5, Pages: 701-703(2005)
- 作者机构：
  
  1. 1:南京师范大学电气与自动化工程学院
  2. 2:南京师范大学电气与自动化工程学院
  3. 3:日本爱知工业大学情报工学科
  4. 4:南京师范大学电气与自动化工程学院,南京,210042
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2005
- 稿件说明：
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Research on precision displacement measurement and control using moiré signals[J]. 2005, (5): 701-703.
DOI：

Research on precision displacement measurement and control using moiré signals[J]. 2005, (5): 701-703. DOI：

摘要

应用光衍射理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统

建立了衍射莫尔信号与对应位移的数学模型

并通过计算机仿真对莫尔信号的位移特性进行了研究。在此基础上构建了一套精密位移测量与控制装置

取差动零次激光莫尔信号为控制信号

由微机控制实现高精度位移检测及全自动精密定位。实验结果表明

基于激光莫尔信号的精密检测与控制装置可获得得5nm的位移分辨率及±0.4μm的定位精度。

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