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1. 1:清华大学微电子学研究所
2. 2:清华大学微电子学研究所
3. 3:清华大学微电子学研究所
4. 4:清华大学微电子学研究所,北京,100084
Published:2006
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Review of optical devices and systems based on microfluidics[J]. 2006, (1): 71-74.
DOI:
Review of optical devices and systems based on microfluidics[J]. 2006, (1): 71-74. DOI:
微流控技术作为微全分析系统的关键与核心
一直是MEMS领域中的一个研究重点。随着微流控技术水平的不断提高以及与其它学科的不断渗透与融合
近年来已经涌现出一批令人注目的研究热点
其中微流控光学器件就是其典型代表。微流控技术与光学器件的融合
为传统光学器件的微型化、阵列化、低成本化以及高精度控制提供了可能。叙述了一些基于微流控技术的可变焦光透镜、显示器件、光开关、以及可调光纤光栅等新型光学器件的近期研究成果和应用背景。
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