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1. 1:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
2. 2:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
3. 3:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
4. 4,北京,100084
Published:2006
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An absolute distance measurement system based on optical multiplication[J]. 2006, (1): 39-41.
DOI:
An absolute distance measurement system based on optical multiplication[J]. 2006, (1): 39-41. DOI:
介绍了一个基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统。系统包括两个干涉仪:采用半导体激光器作为光源的定位干涉仪和测量位移的外差干涉仪。介绍了光源的选择
系统的设计以及信号的采集和处理方案。采用这套绝对测量系统
可以实现长度为2m以内的绝对距离测量
定位精度可以达到±0.5μm。
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