Technique of nano-grating fabricated by AFM

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Technique of nano-grating fabricated by AFM

更新时间：2025-09-01

- Technique of nano-grating fabricated by AFM
- Issue 3, Pages: 330-332(2006)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学工程力学系
  2. 2:清华大学工程力学系
  3. 3:清华大学工程力学系
  4. 4:清华大学工程力学系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2006
- 稿件说明：
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Technique of nano-grating fabricated by AFM[J]. 2006, (3): 330-332.
DOI：

Technique of nano-grating fabricated by AFM[J]. 2006, (3): 330-332. DOI：

摘要

在扫描探针纳米加工技术的基础上

提出了利用原子力显微镜(AFM)来制作高频光栅的新工艺。利用AFM硅制探针

在接触模式下对光盘(聚碳酸酯材料)进行刻划试验。对刻划光栅的工艺参数进行优化

得到了纳米量级光栅。并将刻划所得光栅应用于数字云纹法

与数字参考栅干涉形成微/纳米数字云纹。实验结果表明

该法所制得的光栅可以应用于实际变形的测量。

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