The influences of the polishing liquid's pH values upon the roughness of the polishing component surface

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The influences of the polishing liquid's pH values upon the roughness of the polishing component surface

更新时间：2025-09-01

- The influences of the polishing liquid's pH values upon the roughness of the polishing component surface
- Issue 4, Pages: 562-564(2006)
- 作者机构：
  
  1. 1:四川大学电子信息学院
  2. 2:四川大学电子信息学院
  3. 3:成都精密光学工程研究中心
  4. 4:成都精密光学工程研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2006
- 稿件说明：
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The influences of the polishing liquid's pH values upon the roughness of the polishing component surface[J]. 2006, (4): 562-564.
DOI：

The influences of the polishing liquid's pH values upon the roughness of the polishing component surface[J]. 2006, (4): 562-564. DOI：

摘要

减小大孔径超光滑玻璃表面的粗糙度是提高抛光质量的关键。实验研究了抛光过程中pH值对抛光元件表面粗糙度的影响。结果表明:抛光液的pH值对抛光元件表面粗糙度有较明显的影响;抛光过程中抛光液的pH值会随抛光时间而变化;抛光过程中

当保持抛光液处于微碱状态

且离抛光粉的等电离点较远时

抛光元件表面具有较小的粗糙度。

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