Dual-pass optical dynamic measuring method based on intensity interference principle

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Dual-pass optical dynamic measuring method based on intensity interference principle

更新时间：2025-09-01

- Dual-pass optical dynamic measuring method based on intensity interference principle
- Issue 4, Pages: 618-620(2006)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  4. 4:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2006
- 稿件说明：
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Dual-pass optical dynamic measuring method based on intensity interference principle[J]. 2006, (4): 618-620.
DOI：

Dual-pass optical dynamic measuring method based on intensity interference principle[J]. 2006, (4): 618-620. DOI：

摘要

在近场光存储方案中

头盘间距动态测控技术是近场光存储理论和技术的实用化。根据近场光学头的飞行特点

提出了一种基于光强干涉原理的测量系统

重点介绍了其测量原理和标定方法。采用双光路结构来提高测量分辨率

利用光偏振特性来消除反馈光对信号光的干扰。通过对系统性能的分析和试验表明

动态特性达到了500kHz

测量分辨率高于1nm

可满足系统高精度动态测试的要求。

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