Absolute flatness measurement of optical surfaces

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Absolute flatness measurement of optical surfaces

更新时间：2025-09-01

- Absolute flatness measurement of optical surfaces
- Issue 5, Pages: 775-778(2006)
- 作者机构：
  
  1. 1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
  2. 2:南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京,210094
  3. 3,南京,210094
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2006
- 稿件说明：
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Absolute flatness measurement of optical surfaces[J]. 2006, (5): 775-778.
DOI：

Absolute flatness measurement of optical surfaces[J]. 2006, (5): 775-778. DOI：

摘要

应用两种方法对三个高精度平面进行了测试。第一种方法是Fritz的三面互检法

它利用Zernike多项式的特性拟合三个面四次组合测量得到的干涉图

然后求出三个面的Zernike多项式系数

从而得到三个面的面形偏差。第二种方法是奇偶函数法

根据函数的奇偶性

把平面的面形函数分解为四类:偶奇、奇偶、偶偶和奇奇函数

分别求出各分量

从而得到三个面的三维面形偏差。对两种方法都编制了理论模拟和实测程序

并进行了实验

实现了无参考面的高精度平面面形测试。

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