Study on application of flexible hinge micro-displacement mechanism in tunable F-P filters

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Study on application of flexible hinge micro-displacement mechanism in tunable F-P filters

更新时间：2025-09-01

- Study on application of flexible hinge micro-displacement mechanism in tunable F-P filters
- Issue 3, Pages: 409-411(2007)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
  4. 4:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
- 作者简介：
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- DOI：
  CLC：
- Published：2007
- 稿件说明：
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Study on application of flexible hinge micro-displacement mechanism in tunable F-P filters[J]. 2007, (3): 409-411.
DOI：

Study on application of flexible hinge micro-displacement mechanism in tunable F-P filters[J]. 2007, (3): 409-411. DOI：

摘要

分析了由于反射镜倾斜导致的可调谐F-P(Fabry-Perot)滤波器失谐。设计了一种柔性铰链式微位移机构

由压电陶瓷驱动

采用平行四连杆机构进行传动导向。采用该机构驱动F-P腔镜扫描克服了直接使用压电陶瓷带来的腔镜倾斜问题。该机构已应用于可调谐F-P滤波器中

输出信号多周期峰值幅度均匀

重复性好。

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