An optical method of online measurement for the thickness of thin films

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

An optical method of online measurement for the thickness of thin films

更新时间：2025-09-01

- An optical method of online measurement for the thickness of thin films
- Issue 3, Pages: 447-449(2007)
- 作者机构：
  
  1. 1:大连民族学院光电子技术研究所
  2. 2:辽宁师范大学物理系
  3. 3:大连民族学院光电子技术研究所
  4. 4:大连民族学院光电子技术研究所,大连,116600
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2007
- 稿件说明：
移动端阅览
An optical method of online measurement for the thickness of thin films[J]. 2007, (3): 447-449.
DOI：

An optical method of online measurement for the thickness of thin films[J]. 2007, (3): 447-449. DOI：

摘要

介绍了一种测量固体薄膜厚度的光学方法。该方法具有测量速度快、可实现在线测量等特点。为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题

构造了一套软硬件实验系统

利用该系统进行实验的结果表明:在10~100μm厚度范围

测量误差小于10%

满足实际生产需要。

Abstract

关键词

Keywords

references

Views

456

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

Study of optical methods for measuring the thickness of the thin films

Fugitive dust concentration measurement method and system based on an opening light-path

Design of an autonomous instrument for low-level nutrient measurement in seawater

Measuring system for plastic optical fiber diameter based on the EPLD

The on-line measuring thickness of the paper film's sticking layer

Related Author

郑亚茹

李波欣

宋敏

路广

李晨曦

李杏华

陈文亮

徐可欣

Related Institution

3:辽宁师范大学物理系

1:大连民族学院机电信息工程系

1:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

1:中国科学院南海海洋研究所LED重点实验室

⁰