Advances in vibration cancellation phase-shifting interferometer

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Advances in vibration cancellation phase-shifting interferometer

更新时间：2025-09-01

- Advances in vibration cancellation phase-shifting interferometer
- Issue 3, Pages: 416-419(2007)
- 作者机构：
  
  1. 1:成都精密光学工程研究中心
  2. 2:成都精密光学工程研究中心
  3. 3:成都精密光学工程研究中心
  4. 4:成都精密光学工程研究中心,成都,610041
- 作者简介：
- 基金信息：
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- Published：2007
- 稿件说明：
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Advances in vibration cancellation phase-shifting interferometer[J]. 2007, (3): 416-419.
DOI：

Advances in vibration cancellation phase-shifting interferometer[J]. 2007, (3): 416-419. DOI：

摘要

在对光学元件面形进行检测和光学系统成像质量的评价中

移相干涉测量技术有着广泛地应用。但是

光学干涉仪的测量精度对环境的要求非常苛刻

环境的振动和空气的扰动会对测量结果产生很大影响。提高移相干涉仪的抗振性很有必要

受到广泛重视。国际上移相干涉仪的抗振技术主要包括主动抗振和被动抗振两方面

两种技术具有各自特点。

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