Influence of annealing on the microstructure and photoluminescence of ZnO films

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Influence of annealing on the microstructure and photoluminescence of ZnO films

更新时间：2025-09-01

- Influence of annealing on the microstructure and photoluminescence of ZnO films
- Vol. 32, Issue S1, Pages: 595-597(2006)
- 作者机构：
  
  1. 1:第二炮兵工程学院实验中心
  2. 2:第二炮兵士官学校
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2006
- 稿件说明：
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Influence of annealing on the microstructure and photoluminescence of ZnO films[J]. 2006, 32(S1): 595-597.
DOI：

Influence of annealing on the microstructure and photoluminescence of ZnO films[J]. 2006, 32(S1): 595-597. DOI：

摘要

采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了高c轴择优取向的ZnO薄膜

研究了退火对ZnO薄膜的晶粒尺度和发光光谱的影响。XRD结果显示退火可以改善ZnO薄膜的结构特性

PL谱结果显示退火对ZnO薄膜的发光强度产生很大影响。

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