Manufacture technology for micro-wedge mirror

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Manufacture technology for micro-wedge mirror

更新时间：2025-09-01

- Manufacture technology for micro-wedge mirror
- Issue S1, Pages: 25-26(2007)
- 作者机构：
  
  1:华中光电技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2007
- 稿件说明：
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Manufacture technology for micro-wedge mirror[J]. 2007, (S1): 25-26.
DOI：

Manufacture technology for micro-wedge mirror[J]. 2007, (S1): 25-26. DOI：

摘要

微楔形镜的加工不能像平行平面元件那样

采用大块抛光

切片分割的办法。针对零件尺寸小、精度要求高的特点

研究了加工过程中的粘结上盘、面形精度控制和楔形角检测等技术

设计了吸附式粘结上盘和楔形角测量等专用装置

应用于尺寸为3×3×1mm(6°)的Nd∶YVO4(掺钕钒酸钇)晶体批量生产中

提高了零件的面形精度和加工可靠性。测试结果表明:面形精度优于λ/10(λ=632.8nm)

表面光洁度达0/0级

楔形角合格率达98%以上。

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