Finite element analysis of modal characteristics of micro quartz tuning fork gyroscope

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Finite element analysis of modal characteristics of micro quartz tuning fork gyroscope

更新时间：2025-09-01

- Finite element analysis of modal characteristics of micro quartz tuning fork gyroscope
- Vol. 32, Issue S1, Pages: 61-63(2006)
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学信息科学技术学院光电工程系
  2. 2:大连海事大学信息工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2006
- 稿件说明：
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Finite element analysis of modal characteristics of micro quartz tuning fork gyroscope[J]. 2006, 32(S1): 61-63.
DOI：

Finite element analysis of modal characteristics of micro quartz tuning fork gyroscope[J]. 2006, 32(S1): 61-63. DOI：

摘要

MEMS石英音叉陀螺是近年来发展起来的新型惯性器件。在石英音叉的早期设计阶段

为了提供可靠的设计方案

并缩短设计周期

应该对其进行分析模拟。音叉的结构参数至关重要

不仅会影响陀螺的敏感性

还会影响其检测精度和稳定性。本文以U形音叉为例

利用大型有限元分析软件ANSYS建立了微型石英音叉的实体模型

对其模态特性进行了分析和计算

分析了音叉几何尺寸对其谐振频率的影响

并提供了一组可供实际制作的音叉结构参数

大大缩短了设计周期。

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