Study on microlens-array confocal microscopy measurement technology

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Study on microlens-array confocal microscopy measurement technology

更新时间：2025-09-01

- Study on microlens-array confocal microscopy measurement technology
- Issue 1, Pages: 94-97(2008)
- 作者机构：
  
  1. 1:哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院
  2. 2:哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院
  3. 3:哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院
  4. 4:哈尔滨工业大学航天学院,哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2008
- 稿件说明：
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Study on microlens-array confocal microscopy measurement technology[J]. 2008, (1): 94-97.
DOI：

Study on microlens-array confocal microscopy measurement technology[J]. 2008, (1): 94-97. DOI：

摘要

传统的共焦显微探测多是采用单点机械扫描方式完成的

存在着扫描效率低的缺点

针对于此

一种多光束共焦显微系统成为当前的研究热点

通过不同方式对光束进行分割

使单点检测变为多路并行检测

提高了测量速度

减少了扫描过程中光源和振动噪声的影响

实现多光束的同步测量。介绍了几种典型的单光束和多光束共焦显微测量系统的原理、研究进展、发展方向及作者在该方面的研究。

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