Correlogram peak separate algorithms of transparent film

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Correlogram peak separate algorithms of transparent film

更新时间：2025-09-01

- Correlogram peak separate algorithms of transparent film
- Issue 1, Pages: 3-5(2008)
- 作者机构：
  
  1. 1:华中科技大学机械科学与工程学院
  2. 2:华中科技大学机械科学与工程学院,武汉,430074
  3. 3,武汉,430074
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2008
- 稿件说明：
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Correlogram peak separate algorithms of transparent film[J]. 2008, (1): 3-5.
DOI：

Correlogram peak separate algorithms of transparent film[J]. 2008, (1): 3-5. DOI：

摘要

白光干涉技术具有高度唯一性

广泛地被使用在三维表面形貌和台阶高度的测量。但是测量透明薄膜时

薄膜表面和基面都有光线反射与参考光线交汇

在被测表面的同一个位置不同高度两次产生干涉条纹

其干涉相干图中出现两个峰值。通过分析透明薄膜产生的干涉相干图的特点

提出了两种算法用来分离不同表面产生的干涉条纹。理论分析和试验结果表明

利用垂直扫描白光干涉法测量透明薄膜

由峰值分离算法和定位算法分别提取薄膜的上下表面

能够得到透明薄膜的高精度三维形貌和厚度信息。

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