Measure optics constant of alloy steel with ellipsometry

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Measure optics constant of alloy steel with ellipsometry

更新时间：2025-09-01

- Measure optics constant of alloy steel with ellipsometry
- Issue 5, Pages: 772-773(2008)
- 作者机构：
  
  1:西安电子科技大学理学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2008
- 稿件说明：
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Measure optics constant of alloy steel with ellipsometry[J]. 2008, (5): 772-773.
DOI：

Measure optics constant of alloy steel with ellipsometry[J]. 2008, (5): 772-773. DOI：

摘要

用椭偏法测量了入射光波长0.632μm、入射角50°至85°时某合金钢的光学常数。考虑材料表面的粗糙度

用Ohlidal-Lukes理论对所测光学常数值进行修正

发现椭偏参量的修正量随入射角增大而增大。结果表明

用椭偏法测量合金钢光学常数时采用较小入射角能获得更精确的样片光学常数。

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