Development and application of MEMS DM in adaptive optics

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Development and application of MEMS DM in adaptive optics

更新时间：2025-09-01

- Development and application of MEMS DM in adaptive optics
- Issue 6, Pages: 836-840(2008)
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学信息科学技术学院光电工程系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2008
- 稿件说明：
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Development and application of MEMS DM in adaptive optics[J]. 2008, (6): 836-840.
DOI：

Development and application of MEMS DM in adaptive optics[J]. 2008, (6): 836-840. DOI：

摘要

自适应光学系统主要用于校正由大气湍流等引起的波前畸变

经过半个多世纪的发展

自适应光学系统已经应用到了许多领域。传统自适应光学系统中的变形镜在许多情况下已经不能满足自适应光学新发展的需要。随着微制造技术的发展

用微制造技术制作的新型微变形镜大大提高了致动单元的集成度

简化了电源

提高了可靠性

降低了自适应光学系统的体积和造价。综述了微变形镜技术的发展情况及其在自适应光学中的应用

并且讨论了其发展前景。

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