A method to locate the peak of diffraction pattern on base of Gaussian fitting

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A method to locate the peak of diffraction pattern on base of Gaussian fitting

更新时间：2025-09-01

- A method to locate the peak of diffraction pattern on base of Gaussian fitting
- Vol. 35, Issue 1, Pages: 127-130(2009)
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学信息科学技术学院光电工程系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2009
- 稿件说明：
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A method to locate the peak of diffraction pattern on base of Gaussian fitting[J]. 2009, 35(1): 127-130.
DOI：

A method to locate the peak of diffraction pattern on base of Gaussian fitting[J]. 2009, 35(1): 127-130. DOI：

摘要

基于衍射理论的分块镜共相位误差检测中

衍射光斑最高峰峰值位置的定位精度直接影响最终的测量精度

峰值定位精度受限于CCD的像元尺寸。针对衍射光斑的特点及最高峰峰值位置亚像元的定位精度要求

提出了基于高斯拟合的最高峰峰值位置的定位方法。在采样间距为5μm

采样点在10个左右的情况下

定位精度高于600nm

与传统的质心法及Hilbert变换法相比

精度可以提高20%以上

且鲁棒性好。实验结果表明

该方法是一种有效的亚像元精度的峰值定位方法

为提高共相位误差的测量精度提供有效途径。

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