Design of laser beam uniformity based on light-guide wall in seamless scanning lithography

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Design of laser beam uniformity based on light-guide wall in seamless scanning lithography

更新时间：2025-09-01

- Design of laser beam uniformity based on light-guide wall in seamless scanning lithography
- Vol. 35, Issue 4, Pages: 615-617(2009)
- 作者机构：
  
  1. 1:广东工业大学实验教学部
  2. 2:广东工业大学物理与光电工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2009
- 稿件说明：
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Design of laser beam uniformity based on light-guide wall in seamless scanning lithography[J]. 2009, 35(4): 615-617.
DOI：

Design of laser beam uniformity based on light-guide wall in seamless scanning lithography[J]. 2009, 35(4): 615-617. DOI：

摘要

351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器

直接输出正六角形均匀分布的照明光束

能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描。同目前常用的微透镜阵列器相比制作简单

无须光阑就能直接获取所需要的六角形光束

减少了能量损失。通过合理的假设和理论推算

依据管内最大反射次数就能适当地选取光波导管的长度

既保证了足够的反射次数以维持良好的均匀性

同时又避免了不必要的管长所带来的更多反射损耗。利用ZEMAX光学设计软件模拟和分析了由光波导管输出的照明光。结果表明

输出的六角形光束的相对光通量为96%

近似于平顶的能量分布

呈现出了极好的均匀性。

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