Experimental research on low-coherence polarization phase-shifting Fizeau interferometer

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Experimental research on low-coherence polarization phase-shifting Fizeau interferometer

更新时间：2025-09-01

- Experimental research on low-coherence polarization phase-shifting Fizeau interferometer
- Vol. 35, Issue 6, Pages: 894-896(2009)
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2009
- 稿件说明：
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Experimental research on low-coherence polarization phase-shifting Fizeau interferometer[J]. 2009, 35(6): 894-896.
DOI：

Experimental research on low-coherence polarization phase-shifting Fizeau interferometer[J]. 2009, 35(6): 894-896. DOI：

摘要

研究了一种Fizeau型偏振移相干涉仪。以中心波长为650nm的多纵模半导体激光器作为光源

利用光源的短相干特性和一套偏振延迟装置分出一对偏振方向正交的参考光和测试光

采用巴比涅-索列尔补偿器作为偏振移相器。测试了一块平行平板的前表面面形

面形PV值为0.0682λ

RMS值为0.0127λ。该方法的优点是移相精度高

移相时无须推动参考镜

适用于大口径光学系统的干涉测试

可消除多表面干涉杂散条纹的影响。

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