Removing function of polishing pad in computer controlled optical polishing

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.01.010

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Removing function of polishing pad in computer controlled optical polishing

更新时间：2025-09-01

- Removing function of polishing pad in computer controlled optical polishing
- Issue 1, Pages: 32-34(2000)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,长春,130022
  2. 2:成都精密光学工程研究中心,成都,610041
  3. 3:柯尼卡(大连)有限公司,大连,116000
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.01.010
  CLC：
- Published：2000
- 稿件说明：
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Removing function of polishing pad in computer controlled optical polishing[J]. 2000, (1): 32-34.
DOI：

Removing function of polishing pad in computer controlled optical polishing[J]. 2000, (1): 32-34. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.01.010.

摘要

抛光盘去除函数的确定是数控抛光技术的应用基础，以Ｐｒｅｓｔｏｎ方程为基础，应用运动学原理推导了抛光盘在行星运动及平转动两种运动方式下的材料去除函数，并通过计算机模拟出相应的工作特性曲线。结果表明，两种运动方式下工作特性曲线均在不同程度上趋近于高斯曲线。因而行星运动及平转动都可作为抛光盘的运动方式应用在ＣＣＯＰ技术中，使加工中的面形误差得到收敛。

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