Application of genetic algorithm in measurement with ellipsometer

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.03.029

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Application of genetic algorithm in measurement with ellipsometer

更新时间：2025-09-01

- Application of genetic algorithm in measurement with ellipsometer
- Issue 3, Pages: 277-280(2000)
- 作者机构：
  
  1. 1:华中理工大学电子科学与技术系,武汉,430074
  2. 2:华中理工大学电子科学与技术系,武汉,430074
  3. 3:华中理工大学电子科学与技术系,武汉,430074
  4. 4:华中理工大学电子科学与技术系,武汉,430074
- 作者简介：
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- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.03.029
  CLC：
- Published：2000
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Application of genetic algorithm in measurement with ellipsometer[J]. 2000, (3): 277-280.
DOI：

Application of genetic algorithm in measurement with ellipsometer[J]. 2000, (3): 277-280. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.03.029.

摘要

详细介绍了椭圆偏振法测量的基本原理和椭偏函数方程的建立

将遗传算法引入到椭偏法测试薄膜的折射率和厚度的计算中

改善了计算的收敛性并提高收敛速度。给出了计算程序流程图

重点分析了各遗传算子的设计。

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