Method of nanometer measurement using   multi  wavelengths interferometry

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.04.006

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Method of nanometer measurement using multi wavelengths interferometry

更新时间：2025-09-01

- Method of nanometer measurement using multi wavelengths interferometry
- Issue 4, Pages: 313-315(2000)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  2. 2:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  3. 3:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.04.006
  CLC：
- Published：2000
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Method of nanometer measurement using multi wavelengths interferometry[J]. 2000, (4): 313-315.
DOI：

Method of nanometer measurement using multi wavelengths interferometry[J]. 2000, (4): 313-315. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.04.006.

摘要

本文提出了一种利用合成波长法实现的纳米测量方案。在文中分析了多波长干涉术用于小尺寸测量的基本原理

提出了共光路的设计结构。其特点是能够将测量镜的纳米量级被测位移放大到参考镜的亚毫米量级位移

从而能够利用相对低精度的测量手段完成测量

共光路的设计使系统对外界的扰动有较好的抑制能力。文章还给出了简单的验证实验

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